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Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)
2016-03-24
Chroma 7936晶圓雙面檢測機為自動化的切割后 晶粒檢測機，可以同時間進行正反兩面的晶粒外 觀檢查。使用先進的打光技術(shù)，可以清楚的辨識 晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)可以適用于新的制程如垂 直結(jié)構(gòu)晶?；蚴歉簿ЬЯ！?/div>
由于使用的高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算 法，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)可以在4.5分鐘內(nèi)檢測完2 吋 LED晶圓， 換算為單顆處理時間為35msec。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)同時也提 供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤的水平問題。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)可配置2種不 同倍率，使用者可依晶?；蜩Υ贸叽邕x擇檢測 倍率。系統(tǒng)搭配的最小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。
系統(tǒng)功能
在擴膜之后，晶?；蚓A可能會產(chǎn)生不規(guī)則的 排列，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶 圓。此外，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)擁有人性化的使用介面可降低 學(xué)習(xí)曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區(qū)域、檢測參數(shù)及結(jié)果等，均可清楚地透過軟體 介面呈現(xiàn)。
瑕疵資料分析
所有的檢測結(jié)果均會被記錄下來，而不僅僅是 良品/不良品的結(jié)果。這有助于找出一組最佳參 數(shù)，達(dá)到漏判與誤判的平衡點。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢，并回饋給制程人 員進行改善。
綜合上述說明，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)是晶圓檢測制程考 量成本與效能的最佳選擇。長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司作為臺灣Chroma公司湖南區(qū)域的總代理，以下為長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司為您簡單介紹Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品特點，如果您想對Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)有更多的了解，歡迎致電長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司，聯(lián)系電話：0731-84284278 84284378。更多產(chǎn)品信息歡迎點擊：rengken.cn。長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司。
Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)主要特色：
可同時檢測晶圓正反兩面
最大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區(qū)域達(dá)10 吋范圍 )
可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓自動對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
瑕疵檢出率高達(dá) 98%
可結(jié)合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析
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